响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制
Micronanoelectronic Technology（2003）
摘要
二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高.文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好.
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关键词
gas sensor,low-resistance
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