УПРАВЛЕНИЕ ПРОГИБОМ СТРУКТУР КРЕМНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ХЛОРИДНЫХ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ РЕАКЦИЙ

Д.В. Тарасов, Ю.Н. Баранов, С.Д. Федотов, Е.М. Соколов, В.Н. Стаценко, С.А. Гаврилов

Nanoindustry Russia（2022）

引用 0|浏览0

暂无评分

摘要

В данной работе исследованы зависимости механических свойств поликристаллических слоев кремния от температуры роста слоя при осаждении их методом химического газотранспортного переноса (CVT). Установлено, что основным технологическим параметром, определяющим величину и направление прогиба кремниевых структур, является температура роста поликристаллического слоя кремния.

查看译文

关键词

реакций

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要