Sol-Gel提拉法制备ZAO薄膜及其光电性能

Journal of Dalian Jiaotong University（2009）

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摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)浸渍提拉法(基于组装的小型提拉装置)在普通玻璃片上制备出ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较.结果表明:Al3+浓度为1.0%的ZAO薄膜表面最为致密均匀;随着退火温度的提高,薄膜的晶体平均粒径明显增大,电阻率逐渐减小;不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70%以上,当A l3+浓度为1.5%时,550℃退火2 h,电阻率最小,为5.9×10-2Ω.cm.

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关键词

ZnO thin film,optical transmittance,dip-coating,electrical resistivity,Sol-Gel

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