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MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜

LIU Bin,ZHANG Rong,XIE Zi-li,ZHANG Yu,LI Liang,ZHANG Zeng,LIU Qi-jia,YAO Jin,ZHOU Jian-jun,JI Xiao-li,XIU Xiang-qian,JIANG Ruo-lian,HAN Ping,GONG Hai-mei

Laser & Infrared（2007）

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摘要
本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同A l组分A lxGa1-xN薄膜(0.13更多
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关键词
AlGaN,MOCVD,film growth
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样例
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