硫化锌衬底上氧化铪保护膜制备及性能研究
Laser & Infrared(2007)
摘要
采用磁控溅射法在硫化锌衬底上制备了氧化铪薄膜,并对氧化铪薄膜的结构和性能进行了分析和测试。结果表明,制备的氧化铪薄膜结构为单斜相,膜层致密,在8~12μm波段对硫化锌衬底的透过率没有明显影响,硬度显著高于衬底的硬度,且与衬底结合良好,适合用作硫化锌的红外保护膜。
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关键词
hafnium oxide film,protective coating,RF magnetron sputtering,zinc sulphide
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