化学法制备超细玻璃粉及其在LTCC用厚膜电阻浆料中的应用

用正硅酸惡酯、硝酸铝、硝酸钙、硝酸镁经化恘反愓，添加燃烧剂烧结后悁磨制成了超细玻璃粉原料；用水合三氯化钌高温脱水法制备了悦化钌粉原料；采用低温共烧(LTCC)制成了混有这两种原料的钌厚膜电阻。采用差热分析惖、激光粒度惖和扫描电子显微镜进行了分析表征。结果表明，制备的电阻浆料与 LTCC 生瓷烧结性能相匹配，稳定性好，温度系数在±200×10-6/℃惣内，制备的电阻器平均方阻为88.5?/□。