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Diamond/ZnO/LiNbO3 Structure for Packageless Acoustic Wave Sensors

Cecile Floer,Mohammed Moutaouekkil,Florian Bartoli,Harshad Mishra,Stefan Mc Murtry,Sami Hage-Ali,Omar Elmazria,Abdelkrim Talbi,Olivier Bou Matar,Damia Dekkar,Benoit Baudrillart,Fabien Benedic,Sergei Zhgoon,Thierry Aubert

Italian National Conference on Sensors（2017）

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关键词
packageless sensor,waveguiding layer acoustic wave,diamond
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