全息光栅拼接系统中的像差补偿法

全息光栅拼接参数需要用参考干涉条纹来检测.系统像差会造成干涉条纹扭曲,产生光栅拼接误差.为补偿像差造成的光栅拼接误差,对像差与干涉条纹扭曲量之间的理论关系进行了研究,利用计算机模拟了参考干涉条纹图像,并将光栅拼接误差预调制到参考干涉条纹图像中.为验证该方法的有效性,在曝光系统像差峰-峰值为0.72λ的情况下进行了光栅拼接实验,在光栅拼缝处像差造成-1级衍射波面最大突变量为0.36λ.利用预制参考干涉条纹图像作为拼接参考时,其最大突变量为0.097λ.实验结果表明,在曝光系统像差较大的情况下,干涉条纹预制法能够有效地控制光栅拼接误差.