高功率激光参数测量中高倍率衰减方案

在高功率激光参数测量中，高倍率衰减方案设计是空间分布测量的关键。分析了远场测量光学系统，将95%环围能量直径作为评价远场测量系统的重要指标，明确了高倍率衰减对远场测量结果的影响，确立了高倍率衰减方案的设计原则。利用Virtual Lab软件，针对单个平板、成对平板、成对楔板三种常见的高倍率衰减方案，分析了衰减片摆放角度、位置、厚度、成对衰减片间距等因素对于远场测量系统的影响。针对焦距3000 mm，F数为10的缩束系统，考虑杂散光对于远场测量的影响，优化得出最佳高倍率衰减方案。该方案下，远场像面处95%环围能量直径为45.5μm，即3.54倍衍射极限。