基于CCD的光纤式位移检测技术

Journal of University of Science and Technology of China（2003）

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摘要

介绍一种精确、远距离非接触检测机械位移的方法.检测系统采用面阵CCD摄像机获取被测光纤端部出射光斑图像的灰度分布,由灰度加权平均法提取光斑的特征点,通过检测特征点的位移获得光纤的位移,从而得到被测件的位移.实验结果表明,系统的稳定性为1.5μm,系统达到亚像元级的分辨率.

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关键词

displacement measurement,ccd,optical

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