激光高阶回馈微位移测量系统设计及误差分析

设计了一套基于激光高阶回馈效应的微位移测量系统，介绍了其工作原理，给出了系统中光学单元、机械单元和信号处理及细分单元的设计方法及关键参数。对设计完成的测量系统与 PI 位移台进行了比对测试，实验结果表明系统的分辨率达到0.7 nm，并对测量系统进行了误差分析。激光高阶回馈微位移测量系统不但分辨率高，而且还具有结构简单和性价比高等优点，在精密位移测量中具有广泛的应用前景。