InGaAs固体微光器件研究进展

InGaAs器件具有光谱响应宽、量子效率高、响应速度快、数字化读出、高温工作、可靠性好以及寿命长等优点，符合新一代微光器件的发展需求，在国际上成为固体微光器件的一种新选择，获得了重要的发展和应用。文章就 InGaAs 固体微光器件材料属性、器件性能以及成像特点等几方面进行了详细分析，介绍了当前InGaAs器件的发展趋势，以及研制320×256 InGaAs阵列的最新进展。研究结果表明 InGaAs 材料生长及器件工艺具有较好的可控性和稳定性，为实现高性能、实用化的InGaAs固体微光器件提供了技术支撑。