无磨料低温抛光的均匀性仿真
Journal of Jilin University of Technology（2004）
摘要
无磨料低温抛光是一种可获得原子级超光滑表面的新方法.作者首先对加工区进行建模,并分析了冰盘与工件盘在水平面内的相对运动,然后利用Preston方程对工件的抛光均匀性进行了分析,并用数值方法实现了计算机仿真.结果表明:工件盘与冰盘的偏心距越大,工件的抛光均匀性越好.
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simulation
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