TiN及AlN薄膜的制备和光学性能研究

Semiconductor Optoelectronics（2002）

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摘要

研究了反应溅射法制备AlN、TiN薄膜的工艺过程,摸索了用于磁光盘介质层的AlN、TiN薄膜的最佳制备工艺,并研究了采用此工艺制备的AlN、TiN薄膜的光学性能.

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