AZO透明导电薄膜的性能和制备
Hunan Nonferrous Metals（2013）
摘要
AZO薄膜是一种应用广、发展快的高导电率、透光率的金属氧化物薄膜.文章基于国内外的发展情况,概述了AZO薄膜的光电性能、应用领域和不同的掺杂对AZO薄膜的性能影响.归纳了AZO薄膜的制备方法,着重介绍了磁控溅射沉积法制备AZO薄膜的几个工艺参数可能对AZO薄膜性能的影响.
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关键词
azo transparent,thin films
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