磁控溅射法制备一维CdTe纳米棒阵列研究?
Journal of Functional Biomaterials（2015）
摘要
利用磁控溅射法,研究了不同基底温度和工作气压对 CdTe 薄膜微纳米结构的影响. XRD 和SEM表征结果表明,基底温度直接决定着 CdTe 粒子的生长和表面扩散能力,工作气压会直接影响入射在衬底表面的粒子能量,溅射功率决定提供 CdTe 粒子的量.通过生长条件的进一步探索和优化,最终在溅射功率为84 W、工作气压为0．4 Pa和石英基底温度为200~450℃时成功获得直径约150 nm,形貌均一的一维CdTe纳米棒阵列.
更多查看译文
关键词
one-dimensional
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要