氮离子注入铝的结构研究
Nuclear Techniques（2003）
Abstract
采用掠射X射线衍射和AES方法分析了氮离子注入铝的结构和成分,采用TRIM'98程序对注入过程中氮浓度随深度的分布进行了模拟.结果表明:当温度低于300℃,能量为60 keV,用7×1017/cm2和1×1018/cm2注量的氮离子注入铝时,在铝的表面生成了六方结构的A1N而不是立方结构的AlN;同时碰撞扩散作用在氮离子注入过程中居主导地位,热扩散作用和辐照增强扩散作用均不明显.
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Key words
pure aluminium,aln,microstructure
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