磁控溅射制备 Ti-O-N 选择性太阳能吸收涂层

太阳能集热器是太阳能热水器的核心部件，平板集热器可以作为建筑材料与建筑完美融合，满足城市对太阳能的利用与建筑一体化的要求．本论文用中频磁控溅射技术制备用于平板集热器的 Ti-O-N 选择性吸收涂层．用 XRD、SEM 及红外反射测试研究工艺参数对吸收涂层结晶质量、形貌及反射率的影响．设置镀膜过程中气压分别为0．8 Pa、1．2 Pa 和2．0 Pa 而其他参数不变，制备出不同气压条件下的 Ti-O-N 选择性吸收涂层，通过分析样品的表面形貌及红外反射率来研究镀膜过程中气压对涂层质量的影响．实验表明，气压越低，所镀的薄膜颗粒越致密均匀，薄膜表面越光滑，薄膜的集热效率越高，即涂层的质量越好．