集成微热板气体传感器阵列的加热驱动电路设计?

基于集成微热板气体传感器阵列的应用需求，采用CSMC的0.5μm标准CMOS工艺设计了片上加热驱动电路，可根据外部控制信号实现阵列中各微热板加热温度的独立调节。利用Hspice完成了电路仿真，并进行了代工流片。实验测试结果表明该加热驱动电路满足设计要求，各路加热通道产生的驱动电流相对误差小于2%，并且切换电流时无明显过冲现象。