基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
Transducer and Microsystem Technologies（2014）
摘要
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成.分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真.利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试.测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7fF/mT,且具有良好的线性度.根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT.
更多查看译文
关键词
Monitoring System
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要