用于IC氧化层和氧化炉管在线监控的表面光电压技术
Research & Progress of Solid State Electronics（2003）
摘要
表面光电压法(SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术.能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数.对IC生产的质量保证是非常重要的检测手段.文中介绍了用于监控IC生产栅氧化层和氧化炉管系统的SPV技术,并讨论了铁以外其它沾污的SPV检测.
更多AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要