激光聚焦偏移测量微小位移方法研究
仪器仪表学报（2016）
摘要
非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值.本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度,误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量,结果显示位移测量精度优于10 nm(1σ),与理论计算的结果吻合.实验结果表明,该方法对测量微小位移可达nm精度,可应用于工业生产中对主轴振动,轴承球圆度等的在线精密测量.更多还原
更多关键词
measurement accuracy,spatial filter,laser focus deviation,long term stability,micro-displacement
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