拼接干涉仪在控制装校面形中的应用
High Power Laser and Particle Beams（2014）
摘要
通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式.并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度.实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值),空间分辨力高达5 mm-1,可以实现中频段的装校监控.使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100 nm,与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm).
更多关键词
sub-aperture stitching,astigmatism,local surface,assembly inspection,full-aperture surface
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要