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4Cr13不锈钢表面多弧离子镀制备(Ti,Cr)N薄膜的高温氧化行为

Cai Hangwei,Gao Yuan,Yuan Lin,Ma Zhikang,Wang Chenglei

Rare Metal Materials and Engineering（2014）

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Abstract
在4Cr13不锈钢表面进行多弧离子镀沉积(Ti,Cr)N涂层,研究不同Cr含量的(Ti1-xCrx)N(x=0.28,0.56,0.73)复合薄膜在700℃的高温氧化行为.考察了薄膜氧化后的表面形貌、成分等.用热重法(TG)与差示扫描量热分析法(DSC)分析(Ti,Cr)N薄膜的加热氧化情况,并与TiN薄膜进行对比.结果表明:随着铬靶弧电流(ICr)的提高,(Ti1-xCrx)N薄膜中的Cr含量增加,Cr含量与ICr/ITi存在着线性关系;Cr含量越高,(Ti1-xCrx)N薄膜的高温抗氧化性能越好;(Ti1-xCrx)N薄膜的氧化热力学温度均高于TiN薄膜,表明Cr的加入明显提高了薄膜的氧化热力学温度.
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Cr content,(Ti1-xCrx)N coating,high-temperature oxidation behavior,thermal analysis
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