基于Polymer/SiO2的快速低功耗可变光衰减器的研制
Chinese Journal of Lasers（2014）
摘要
为了有效改善基于无机材料的可变光衰减器(VOA)功耗大以及全聚合物VOA响应速度慢的问题,设计并研制了一种基于有机聚合物/无机SiO2材料的马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型VOA器件.根据脊型波导结构的单模传输条件,设计并优化了单模波导的截面尺寸,同时对器件结构进行了模拟,采用光刻和显影等工艺制备出功耗较低、响应速度快的VOA器件.在1550 nm通信波长下,器件的衰减范围为23 dB,最大功耗仅为14 mW,器件的上升时间为252 μs,下降时间为384 μs.实验结果表明,采用有机/无机混合波导结构,并通过对器件结构参数的优化,可以实现功耗低且响应快速的VOA器件.
更多关键词
optical devices,variable optical attenuator,thermo-optic effect,polymer,Mach-Zehnder interferometer
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