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在清言上使用
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耐熱性酸触媒 : 1493 Kで焼成したシリカモノレイヤーの耐熱性と酸性質

直伸 片田, 英明 石黒, 康司 日比野, 浩一 武藤,幹 丹羽

mag（1995）

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关键词
chemical vapor deposition
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