移相干涉仪的主动抗振技术:光强-相位法振动探测与补偿
Laser Journal（2004）
Abstract
光学干涉测量易受环境振动的影响,本文提出了一种机电反馈式主动抗振方案:光强-相位法振动探测与补偿技术.在这个方案中,光电探测器测量干涉场中任意一点的光强因振动产生波动的情况,据此得到波前相位的变化量,经PZT光学移相器对波前相位采取象限区分反馈法进行实时校正.实验结果表明,这种方案可以对频率小于50Hz、幅度小于1/2光波波长的低频环境振动进行有效补偿,得到了稳定的条纹干涉图,同时还能进行移相测量.
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Key words
interferometrywave-front,vibration determination,light intensity,phase-shifting
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