ギガビットDRAM用のECRプラズマCVD-(Ba, Sr)TiO_3容量膜 政次 吉田,幸司 有田, 久人 藪田, 修次 曽祢,新太郎 山道, 浩一 竹村, 敏幸 佐久間, 芳健 加藤, 洋一 宮坂, 敏洋 飯塚,弘 山口, Lesaicherre Pierreyves, 昭三 西本mag(1996)Cited 23|Views2No scoreAI Read ScienceMust-Reading TreeExampleGenerate MRT to find the research sequence of this paperChat PaperSummary is being generated by the instructions you defined