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Replication of Metal-Based Microscale Structures

J. Jiang,W. J. Meng,G. B. Sinclair,C. O. Stevens,E. Lara-Curzio

AIP conference proceedings（2007）

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关键词
LiGA technology,microfabrication,replication,metal-based HARMS
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样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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