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D4.3 - Silicon probing tips coated with protective aluminum oxide thin films for fast tactile cantilever sensors

Hutomo Suryo Wasisto, F Yu, Manal Ali Deeb,Lutz Doering,Uwe Brand,A Bakin,A Waag,Erwin Peiner,St Vollmeke

Proceedings SENSOR 2015（2015）

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关键词
sensors,silicon,protective aluminum oxide,thin films
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