高精度加工用真空ピンチャックの開発 (第2報):—ピン支持研磨によるディンプル発生に研磨パッドプロファイルの与える影響—伸介 松井,篤暢 宇根, 輝正 鴨打mag（2013）引用 22|浏览5暂无评分关键词surface topography,dimple,polishing,planarizationAI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
