マルチターゲットスパッタ法による Pb(Zr,Ti)O_3 強誘電体薄膜の作製とその評価和男 平田, 直吉 細川,卓 長谷, 敏幸 佐久間, 洋一 宮坂mag（1994）引用 23|浏览3暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
