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525 電子線誘起電流を用いた圧縮応力下におけるシリコンの疲労損傷の観察(OS6-2 先進材料とその機械的性質(2),OS6 先進材料とその機械的性質)

俊文 喜多,庄司 神谷,隼人 泉,徳次 梅原,貴行 野老山,Vu Le Huy,将史 小川

mag（2013）

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关键词
defect,mems,compressive stress
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