Implantação iônica por imersão em plasma e deposição de filmes finos poliméricos provenientes da mistura hexametildisilazano/argônioFelipe Vicente De Paula Unesp Kodairamag(2013)引用 23|浏览1暂无评分关键词thin filmsAI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要