二硫化モリブデンスパッタ膜の性状に及ぼすアルゴン分圧の影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など) 賢治 砂原,満昭 池田, 善之 村岡,健次 松田, 植宏 兼田mag（2004）引用 23|浏览0暂无评分关键词sputter,density,tribology,lubricationAI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
