磁歪膜、磁歪素子、トルクセンサ、力センサ、圧力センサおよびその製造方法Yoshitsugu Motoe, 克次 本江,Koji Nakashima,中島 浩二,Tomohito Ishikawa, 智仁 石川,Masaharu Sugiyama, 杉山 雅治,Takanori Igarashi,貴教 五十嵐,Hiroyuki Wakiwaka, 脇若 弘之,Akihiro Makino,彰宏 牧野,Akihisa Inoue,井上 明久mag(2010)Cited 23|Views11No scoreAI Read ScienceMust-Reading TreeExampleGenerate MRT to find the research sequence of this paperChat PaperSummary is being generated by the instructions you defined