上海市半导体行业挥发性有机物（VOCs）排放特征研究

采用工艺调查与现场监测相结合的方法，研究了半导体行业废气排放中挥发性有机物（VOCs）的种类和排放水平。结果表明，共检测出26种有机物，其中以异丙醇排放量最大。采用排放系数法估算了2004年上海市半导体行业VOCs的排放量和2010年的预期排放量，并提出了加强和完善排放标准及清洁生产等控制措施的建议。