1207 薄膜/基板材への押込み硬さにおける基板効果のFEM解析(S05-2 ナノ・マイクロ材料の強度・信頼性(2)ナノ・マイクロ材料の強度物性測定,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
mag（2008）
Key words
film,finite element analysis,indentation hardness
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