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在清言上使用
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OS1805 二硫化モリブデンスパッタ膜の性状に及ぼすバイアス電圧の影響(OS18-2 薄膜・コーティング材の力学特性と微構造2,OS-18 薄膜・コーティング材の力学特性と微構造)

健太郎 津田,巌 佐々木,健次 松田,満昭 池田

mag（2011）

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关键词
tribology,film,sputter,bias,composition
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样例
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