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Multilayer Aluminum Oxynitride Capacitors for Higher Energy Density, Wide Temperature Applications (Preprint)

Kevin R Bray,Richard L Wu,Sandra Friescarr,Joseph A Weimer

mag（2007）

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关键词
fabrication,thin films,dielectrics,dielectric properties,capacitors
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生成溯源树，研究论文发展脉络
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