谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用
VIPCreated with Sketch.

Extending CVD Low-k Interlayer Dielectric Solutions to 45nm and Beyond

直之 岩崎,隆史 清水, 篤 田畑,Yim Kang Sub,Kelvin Chan, V Nguyen,Alex Demos

mag（2007）

引用 23|浏览1
暂无评分
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要