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MOCVD成長GaN薄膜の結晶性の成長圧力依存性( 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)

聖祐 金, 知己 柴田, 哲也 杉本,貴司 山田, 一弘 芳賀,敏正 鈴木

mag（2002）

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关键词
mocvd
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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