Fabrication of Nil Templates and Diffractive Optical Elements Using the New Vistec Sb4050 Vsb E-Beam Writer
ALTERNATIVE LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII（2015）
关键词
e-Beam,CAR,VSB,NIL,nanoimprint,DOE,diffractive optical element,3D
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要