Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielleLouis Latrassemag(2006)引用 23|浏览0暂无评分关键词microwave plasma,etching,langmuir probeAI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要