400MHz,CW 300W VDMOS功率场效应晶体管

Yingkun Liu,Zhanli Wang, Yuzhang He,Xiulan Lang, Dali Zhang, Lei Xia,Jian Wu, Xiaoli Zhou

SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY(2000)

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摘要
采用Mo栅工艺技术降低栅串联电阻,通过优化工艺参数,全离子注入工艺,研制出了在400MHz下共源推挽结构连续波输出300W的高性能VDMOSFET,其漏极效率大于50%,增益大于9dB.
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