26aBC-8 C_ イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性(放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

mag(2013)

Cited 23|Views5
No score
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined