75mm 4°偏轴4H-SiC水平热壁式CVD外延生长李哲洋,董逊,张岚,陈刚,柏松,陈辰mag(2008)引用 23|浏览2暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要