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メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

拓朗 増住,誠 原,秀充 青木, 志明 呂,千春 木村,隆 杉野

mag（2009）

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