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929 ULSI素子内の熱酸化膜形成時に生ずる転位の蓄積シミュレーション(OS9,OS10 合同ポスターセッション,OS・一般セッション講演)

満弘 佐藤,鉄也 大橋,亨 及川,琢也 丸泉

mag（2012）

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关键词
dislocation,shallow trench isolation
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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