610 三次元積層半導体チップにおける微細構造領域の力学的変形特性(GS21-2-1 材料力学/材料加工,FEM解析(1))

剛 若松,貴博 木下,崇 川上,竜洋 堀,圭司 松本, 文明 山田,靖光 折井, さゆり 小原, 守宏 嘉田

mag(2011)

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